罗升与横河电机技术合作开发的DD（Direct Drive）马达平台，是一种高精度、高性能的直线电机系统。在半导体行业中，DD马达因其直接驱动特性被广泛应用在晶圆激光切割机上。 DD马达作为一种直接将电能转化为线性运动的执行器，其优势在于具有极高的定位精度（通常达到微米级或纳米级）、响应速度快、运行平稳以及结构简单、维护成本低等优点。在晶圆激光切割机中，DD马达作为关键的伺服控制系统组成部分，能够精确控制激光头沿着预定路径移动，实现对硅片表面进行高效、高质量的连续切割作业。 具体应用时，DD马达通过与横河电机先进的控制器配合，可以实时监测并调整切割过程中马达的速度和位置，确保激光焦点稳定，切割轨迹一致，从而大大提高生产效率和切割质量，对于保证晶圆制造过程中的良率至关重要。因此，罗升横河直线电机-DD马达平台在晶圆激光切割机领域的应用得到了广泛的认可和好评。